氟素橡膠墊片

半導體專用氟素橡膠墊片

半導體設備用FKM氟素橡膠墊片，採用高純度氟橡膠（Fluoroelastomer, Viton®）材質，具備優異的耐高溫與抗化學腐蝕特性，廣泛應用於高潔淨、高精密的半導體製程設備
耐高溫性能優異

FKM可長時間承受高達 200°C 以上的工作溫度，瞬間耐溫更可達 250°C，特別適合用於高溫真空腔體或熱製程設備中。

抗化學性強

能耐受各式酸鹼、有機溶劑、氧化劑與腐蝕性氣體，如氫氟酸（HF）、O₃（臭氧）與各類清洗製程化學品，降低墊片劣化風險。

極佳氣密性

具有卓越的氣密封性，可防止氣體或化學氣體洩漏，是高真空環境不可或缺的密封材料。

低粒子汙染與低金屬含量

經特殊配方與潔淨加工處理，有效降低離子遷移與金屬污染，符合半導體製程的低金屬離子析出標準。

優異耐壓縮永久變形性能（Low Compression Set）

長時間使用後仍能維持穩定的密封力，提升設備運轉穩定性與壽命

 
專業製造橡膠,矽膠配件的優良廠商,提供橡膠,矽膠原物料均已通過 UL、SGS、RoHS 、FDA、NFS、WRAS、...檢驗合格,橡膠,
矽膠原物料經國際專業認證,橡矽膠原料經得起考驗

 

半導體專用氟素橡膠墊片（FKM）特性：

1. 耐高溫性能優異

長時間可耐受 200°C~250°C（特殊配方可達 300°C）

適用於半導體設備之 高溫真空爐、熱處理、乾蝕刻 製程

 2. 卓越的耐化學性

抗多種腐蝕性氣體與液體：酸、鹼、溶劑、等離子氣體

特別適用於 清洗機、蝕刻/剝離製程、濕製程（Wet Bench）

 3. 高潔淨等級

低金屬離子、低汙染排放，不會汙染晶圓

可提供 等離子防蝕等特殊配方（如FFKM或Plasma Grade）

4. 出色的耐真空穩定性

低氣體透過率、低粒子生成量，適合 超高真空（UHV）應用

避免真空腔體內因氣體逸散而污染製程

 5. 優良機械物性

優異的抗壓縮永久變形（C.S.）

維持長時間密封力，防止微洩漏（leakage）

全氟橡膠墊片（FFKM或FFPM）是一種高性能的密封材料，因其獨特的分子結構而具有優異的耐化學性與耐高溫性能。這類墊片結合了聚四氟乙烯（PTFE）卓越的耐化學腐蝕性和高溫穩定性，以及氟橡膠的彈性體特性，使其在極端環境中依然保持優良的彈性與密封效果。

 

全氟橡膠墊片的特點

1.卓越的耐化學性：能夠抵抗幾乎所有的化學品，包括強酸、強鹼、溶劑和氧化劑。

2. 高溫穩定性：具備PTFE級的耐高溫特性，可在超過300℃的溫度下長時間穩定工作。

3. 優異的彈性體性能：不同於純PTFE的剛性，FFKM擁有氟橡膠的彈性，因此在高溫和腐蝕環境下可以保持密封完整性。

4. 低滲透性：具有良好的氣體滲透阻隔效果，適合用於真空、高壓等要求嚴苛的場合。

應用場合

全氟橡膠墊片廣泛應用於化學工業、石油天然氣、半導體製造、藥品和生物醫學領域中。尤其在需要極高密封性的情況下，如高溫高壓反應器、泵閥、化學處理設備和精密儀器中，FFKM墊片是不可或缺的密封解決方案。

 

優勢

全氟橡膠墊片的耐用性和抗腐蝕特性，讓其在極端工作環境中能提供長期穩定的密封性能，降低了設備維護頻率並延長了使用壽命。

原產地：台灣
銷售方式：製造、批發、合作、出口
銷售目標市場：台灣、中國大陸、香港、新加坡、全球、東南亞、北美洲
詢價付款方式：T.T. 電匯

競爭特點
接受獨特設計或logo：可接受特別設計或LOGO
適用於促銷品或禮贈品
多樣設計：傑勤實業有限公司提供氟素橡膠墊片的多樣化設計
氟素橡膠墊片接受進行原廠委託設計製造ODM
氟素橡膠墊片接受進行原廠委託代工製造OEM